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匯聚半導體行業(yè)各種前沿技術與解決方案的SEMICON China 2025正在呈現(xiàn)新的行業(yè)發(fā)展趨勢，行業(yè)的產業(yè)鏈競爭已從單一突破之爭，演變?yōu)槿�生態(tài)韌性構建的大比拼。

首次踏上這一盛會的臺達，帶來了“從設備到工藝，從生產到管理”的全維度解決方案，展示了助力半導體制造內卷破局的行業(yè)硬實力。

臺達解決方案矩陣

聚焦半導體行業(yè)全場景需求

助力客戶內卷破局

一、制造工藝升級場景——自動化方案打造核心競爭力

不斷升級的工藝流程給半導體加工企業(yè)帶來了巨大壓力，企業(yè)對先進解決方案的需求也愈發(fā)迫切。臺達依托長期積累的工業(yè)自動化經驗，助力半導體企業(yè)升級生產工藝，打造核心競爭力。

針對裸晶（未經封裝芯片）快速精準進行工藝轉換的需求，臺達依托高精度運控系統(tǒng)打造高速裸晶取放解決方案，具備龍門同動功能，并依托AI視覺的加持，確保每一次取放精準無誤。相比傳統(tǒng)螺桿與氣壓缸機構，生產周期縮短15%，產品良率提升20%。

在半導體制造的刻蝕、沉積和電鍍等環(huán)節(jié)中，溫度的微小波動都可能對最終產品的性能和可靠性產生重大影響。對此，臺達開發(fā)多通道溫控器DTDM系列，自主研發(fā)控溫演算法，控制精度達到±0.1%，突破了精密溫度控制的技術瓶頸。

為半導體設備提供創(chuàng)新的解決方案，更能夠突出展現(xiàn)臺達工業(yè)自動化的優(yōu)勢：清洗機解決方案能夠快速實現(xiàn)同步控制的精準性，在全面優(yōu)化清洗機運行效率上大有優(yōu)勢；依托伺服系統(tǒng)ASDA-A3軟著陸功能，搭配微型直線電機及運動控制軸卡打造的分選機解決方案，力控更加精確，響應更加快速，可有效改善IC分選機檢測準確度；劃片機解決方案則在EtherCAT總線軸卡搭配高慣量伺服電機的加持下，動作快速且不振蕩，能夠降低觸發(fā)碰撞損壞的概率。

二、生產制造智能化升級場景——“軟實力”布局制造運營和設計優(yōu)化
關注制造，臺達不僅僅在生產方面提供高度可靠的解決方案，更通過在智能制造方面的經驗積累，深入布局制造運營和設計優(yōu)化兩大面向。

應用臺達DIASECS半導體設備通訊和控制應用軟件快速導入符合國際標準的 SECS／GEM 通訊協(xié)議，解決制程與底層設備繁多、信息整合不易等問題；采用DIAEAP+設備自動化控制系統(tǒng)構建整合多元通訊標準的設備聯(lián)網，搭配邊緣運算技術實時收集設備⽣產參數(shù)，實現(xiàn)系統(tǒng)間的數(shù)字化貫通；通過DIASPC統(tǒng)計制程管制系統(tǒng)對生產流程進行嚴密監(jiān)控，協(xié)助產線人員快速處理生產過程中的產品質量異常問題，維護制程穩(wěn)定。

而在設計優(yōu)化方面，則應用數(shù)字孿生，在新產品導入階段，使用臺達虛擬機臺開發(fā)平臺DIATwin完成虛實整合設計。即在實體產線建置前，就以虛擬環(huán)境預先進⾏電控程序測試、⽣產周期的調校優(yōu)化，并產⽣制程參數(shù)，通過 LineManager 產線聯(lián)網應⽤確保虛擬模型與實際產線能同步運作，不斷優(yōu)化控制參數(shù)與制程效能。

三、精密產線升級場景——以高性能設備打造制程效率

在全球半導體產業(yè)升級的背景下，面對先進生產的需求，臺達憑借累積的技術能量，提供側重制程效率與品質優(yōu)化的先進半導體設備。

前端工藝：晶圓磨邊與檢測

臺達晶圓磨邊機整合獨特影像技術，研磨前實時精確調整砂輪位置，研磨后同時檢測研磨質量，提升產線效率及設備稼動率；晶圓通過臺達晶圓輪廓儀搭配臺達獨有的粗糙度量測模塊及Edge AOI光學檢測模塊，進一步檢測倒角生產質量及邊緣缺角瑕疵；臺達IR 孔洞檢查機具光學自動調光機制，可根據(jù)不同厚度、阻值進行光學調試，適用于晶圓孔洞缺陷檢測及質量篩選；臺達分選機擁有平坦度、厚度阻值、表面/側邊缺陷、邊緣輪廓量測、IR孔洞檢測、OCR鐳碼、P/N型量測多樣功能模塊選擇，依需求客制化機型，為裸晶制造作瑕疵篩選，掌控生產狀態(tài)與確保產品良率。

后端制程：先進封裝

針對IC封裝測試階段，臺達旗下子公司環(huán)球儀器開發(fā)高速多芯片先進封裝設備，高度整合FuzionSC™半導體貼片機及高速晶圓送料機，配裝高速芯片送料機構，內含晶圓擴張器及芯片自動取放裝置，適用于高速度高精度貼裝主動或被動組件。

四 、供電管理需求場景——以UPS方案強化電力保障與管理

電力，也是半導體產業(yè)的競爭力。面對電力安全與低碳經濟雙重挑戰(zhàn)，臺達推出針對半導體行業(yè)的不間斷電源解決方案：

DMP系列UPS，具有250-2100kVA功率段，支持八臺并機，提供16.8兆瓦的供電保護，打造更高級別的性能提升，更可靠的供電保護；AC-AC在線效率可達97.5%，幫助半導體產線低成本高效運營；ECO+APF模式（潔凈模式），兼具ECO模式的效率和雙變換模式的性能，確保高供電質量情況下，效率高達99.5%，逆變器并聯(lián)旁路供電0ms切換時間；憑借極高效率，以1.2MW電力功耗來計算，DPM系列UPS在10年內可節(jié)省近200萬美元的電費。

五、廠務能源監(jiān)控場景——構建智能一體化能源管理平臺

隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展，廠務管理同樣面臨著穩(wěn)定高效、智慧節(jié)能的多重挑戰(zhàn)。臺達圍繞廠務管理的核心功能逐層展開，打造極具競爭力的行業(yè)解決方案。

結合設備控制節(jié)能策略，通過臺達全功能型工業(yè)組態(tài)軟件VTScada構建監(jiān)控系統(tǒng)，整合工廠水、電、氣等相關用能數(shù)據(jù)，實現(xiàn)各控制子系統(tǒng)間互聯(lián)互通，高效搭建智能廠務管理架構。

基于能耗數(shù)據(jù)大數(shù)據(jù)分析模型，為系統(tǒng)提供功能性AI增值服務，實現(xiàn)節(jié)能減碳目標達成。

通過硬件冗余、AI控制策略優(yōu)化、用能調節(jié)分析等技術，幫助客戶提升系統(tǒng)的可靠性與節(jié)能效果。

⾯對全球供應鏈重組與制程演進加速趨勢，半導體制造產業(yè)正經歷深度轉型。臺達積極應對半導體企業(yè)的需求，以前瞻性技術發(fā)展策略，為半導體生產制造打造全場景解決方案矩陣，助力客戶在全球市場行穩(wěn)致遠。