JKZC-DH系列綜合型探針臺
|產(chǎn)品概要
JKZC-DH系列綜合型探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，可完成12英寸晶圓的電學(xué)測試。此系列探針臺設(shè)備配 置十分豐富，不僅具備龍門架結(jié)構(gòu)和卡盤的升降功能，還具備業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的卡盤快速移動技術(shù)，可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠得到廣泛運(yùn)用，配合對應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試,也可以實(shí)現(xiàn)搭載探針卡的測 試。
|技術(shù)特點(diǎn)
•卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置,提高測試效率；
•三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
•加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計,領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
