|
產(chǎn)品型號(hào)
技術(shù)參數(shù)
|
JKZC-UC6
|
JKZC-UC8 JKZC-UC12
|
|
探針臺(tái)本體
|
主體材料
|
航空鋁
|
航空鋁
|
航空鋁
|
|
整機(jī)尺寸（mm）
|
780L*580W*680H
|
830L*610W*680H
|
950L*730W*680H
|
|
重量
|
85kg
|
125kg
|
175kg
|
|
卡盤大小
|
6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
|
8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
|
12", 360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
|
|
卡盤XY軸行程
|
6"*6"，精度 10um
|
8"恪"，精度10um
|
12"*12"，精度 10um
|
|
卡盤氣浮移動(dòng)范圍
|
360度快速移動(dòng)，便于快速定位，提高測(cè)試效率
|
|
卡盤材質(zhì)
|
不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
|
|
卡盤拉出功能
|
卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80%,便于更換樣品
|
|
卡盤吸附方式
|
真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
|
|
背電極測(cè)試功能
|
卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
|
|
腔體
|
帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無(wú)結(jié)霜
|
|
其他功能
|
帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí)
|
|
溫控
|
溫度范圍
|
-100~200°C - 80~200°C
|
-60~2000°C
|
|
溫控精度
|
溫度分辨率：0.01°C
|
|
加熱電源
|
LVJKZC-DCH低壓直流
|
|
最低控溫速率
|
±0.1℃
|
|
制冷方式
|
液氮制冷（自動(dòng)控溫）
|
|
針座平臺(tái)
|
材質(zhì)
|
0型平臺(tái)，Q235鍍鎳，帶接地端子
|
|
大小
|
最多可放置8個(gè)探針座 最多可放置10個(gè)探針座
|
最多可放置14個(gè)探針座
|
|
兩段式升降平臺(tái)
|
探針平臺(tái)可以快速升降，行程3mm；可以上下微調(diào)，行程40mm,升降精度lum
|
|
顯TH系統(tǒng)
|
顯微鏡類型
|
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
|
|
倍率范圍
|
16X-200X/40X-280X/20X-4000X
|
|
顯微鏡行程
|
具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸P英寸，精度lum
|
|
CCD成像系統(tǒng)
|
2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能
|
|
探針座
|
種類
|
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
|
|
X¥Z行程
|
12.5mm-12.5mm-12.5mm
|
|
機(jī)械精度
|
0.5um/0.7um/2um
|
|
夾具
|
漏電精度
|
同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA
|
|
接口形式
|
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
|
|
其它
|
選件
|
屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng)
|
|
電力需求
|
220V/50HZ
|
