JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺
產(chǎn)品概要
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在極端環(huán)境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料，半導體器件等研究方向具有廣泛運用。
極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程 泵的運轉。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
技術特點
-防輻射屏和熱沉設計；
•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；
•液氮自動控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。
詳細參數(shù)
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產(chǎn)品類型
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低溫開循環(huán)
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低溫閉循環(huán)
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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型號
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JKZC-JKZC-DCHH-196k
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JKZC-JKZC-DCHH4k
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外形
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850*850*600mm
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900*850*600mm
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重・
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約100kg
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約150kg
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電力需求
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AC220V,50〜60HZ
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AC380V,50~60HZ
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腔體
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腔體尺寸
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8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗
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樣品臺尺寸
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2英寸/4英寸（鍍金）
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2英寸（鍍金）
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樣品固定方式
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真空導熱硅脂/彈簧壓片
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真空度
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10A-5pa最高真空
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接口形式
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電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等
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其它
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帶防輻射屏和熱沉設計
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溫控系統(tǒng)
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制冷方式
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液氮
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壓縮機
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溫控范圍
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77K-473K （973k可選）
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4.2K~450K
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溫控精度和穩(wěn)定性
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土 0丄度/±0丄度
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降溫速度
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常溫降到77k優(yōu)于25mins
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常溫降到：10k優(yōu)于180mins
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控制方式
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液氮自動流量控制
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壓縮機控制
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光學系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X/20X 〜2000X
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16X-200X/40X-280X
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移動范圍
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水平360度旋轉，Z軸50.8mm調(diào)焦，帶萬向支架
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真空腔觀察窗尺寸
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4inch
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4inch
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CCD像素
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2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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探針臂
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探針臂數(shù)・
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最多6個
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X¥Z行程
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50mm-25mm-25mm
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點針精度
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10微米/2微米
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漏電精度
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同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA
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接口形式
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三軸/SMA/K/光纖接口
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頻率范圍
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JKZC-DCH-67G
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探針
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探針直接
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lum~100um 可選
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材質(zhì)
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磚鋼，披銅
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真空系統(tǒng)
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機械泵/分子泵組/離子泵
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可選附件
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防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等
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應用方向
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高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等
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