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檢漏儀雖多種多樣，但通常都主要由探頭、探測器和泵體三部分組成，當大氣中有SF6氣體時，探頭借助真空泵的抽力將SF6氣體吸進并進入探測器二極管產生電暈放電，使得二級管電極的電流減小，電流減小的信號通過電子線路變換成一種可以聽得到見得著的聲、光報警信號，泄漏量越大，聲光信號越強烈鹵素氣體均可使檢漏儀發出警報。
武漢恒新國儀生產的SF6型檢漏儀中探測器的工作原理如圖所示。
當探測器中水銀燈電源合上，1849Å波長的紫外線通過陽極網照射在陰極上，產生光電子，當待測氣體進入陰陽極析之間時，氣體中的O2和SF6被其間產生光電子結合成O－2和SF－6形式，這些離子按照各自的速度移動，從而在二極板之間產生電磁場。利用O－2和SF－6的移動速度不同，引起電子流量的變化，從而可通過測試電阻檢測SF6的含量。
檢測分定性和定量兩種。
（1）泄漏的定性查找。無論何種型號的檢漏儀，測量前應將儀器調試到工作狀態，有些儀器根據工作需要可調節到一定的靈敏度，然后拿起探頭，仔細探測設備外部易泄漏部位及檢漏口，根據檢測儀所發出的聲光報警信號及儀器指針的偏轉度來確定泄漏位置及粗略濃度，也可以進行定量檢查。
SF6斷路器，易漏部位主要是：
1）對220kVSF6高壓斷路器，各檢測口、焊縫、SF6氣體充氣嘴、法蘭連接面、壓力表連接管和滑動密封底座；
2）對35kV和10kVSF6斷路器，SF6氣體充氣嘴、操作機構、導電桿環氧樹脂密封處及壓力表連接管路。
（2）泄漏的定量測試：
1）掛瓶檢漏法。武漢恒新國儀SF6斷路器在各法蘭接合面等處留有檢測口，檢測口與密封圈外側槽溝相通，能夠收集密封圈泄漏時的SF6氣體，當定性檢查發現泄漏口有SF6氣體泄漏時，可在檢測口進行掛瓶測量。
根據原水電部科技公司和機械部電工局規定的檢漏標準，掛瓶檢漏（額定壓力為588kPa時），漏氣率不得超過0.26Pa·ML/s。
檢漏瓶為1000mL塑料瓶，掛瓶前將檢測口螺絲卸下，歷時24h，使得檢漏口內積聚的SF6氣體排掉，然后進行掛瓶。掛瓶時間為33min，再用檢漏儀檢查瓶中的SF6氣體濃度。
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