|
MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。可以利用應變儀(壓阻型感測)來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。
汽車產業仍然是MEMS壓力傳感器的最大應用領域，占其銷售額的72%，其次是醫療電子占12%，工業領域占10%，消費電子與軍用航空占據其余的6%市場。
在汽車領域，引擎管理是其主要應用，包括汽油發動機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器，尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況，有些組織也在研究可以在汽缸內工作的壓力傳感器，以更好地測量參與化學反應的各種物質的準確比例，并把數據反饋給引擎管理系統。
由于工作環境惡劣，汽車傳感器的價格比消費類傳感器高得多。另外，汽車傳感器需要較長的鑒定時間，而且這些傳感器必須能可靠工作長達15年的時間。有些傳感器，比如剎車或輪胎壓力傳感器，對于汽車安全至關重要。
MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統。德國廠商博世最近進入該市場，推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化，當時使用的是多孔硅，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用于目前的側面氣囊等應用之中。
在醫療市場，壓力傳感器主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設備之中，在連續氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。這些器件潛力巨大，可能在2015年以后成為可植入傳感器。可植入傳感器不需要電池就能工作，可以用于心臟測量和監測青光眼。
在工業領域，MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(HVAC)、水平面測量、各種工業過程與控制應用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用傳感器監測引擎、襟翼等其它部件。
|
