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高溫高真空的法蘭變送器采用的是高溫硅油填充液，且其填充工藝相較一般的法蘭壓力變送器更加嚴格。
這些改變對高溫真空環境下壓力變送器的可靠性和使用壽命提供了可靠的保障：
1.膜盒并不是一體成型的結構，其上有焊接的部分在具備一定條件的情況下是會透出氣體的，當法蘭變送器在負壓中工作時，隔離膜片受到外部吸力影響而膜片外鼓，這會導致膜片內部充液壓力降低。此時，外部氣體便極有可能從焊縫和接頭位置滲入膜盒內部，使填充液中含有氣體，從而影響儀器的性能。
2.填充液的沸點溫度是會隨壓力的降低而降低的。如果法蘭式變送器在負壓狀態下工作，則可能導致充液沸點降低。此時如果介質的溫度高于填充液體的沸點，填充液的汽化壓力就會急劇增加。這些氣體不僅會作用在變送器的傳感器元件上，造成測量誤差，還會引起隔離膜片的外鼓，造成其永久變形。
為此，制造商需要對變送器在高溫高真空環境下工作的情況進行特殊處理。
常見的做法是將膜盒內填充液替換為高溫硅油。其填充量應得到準確控制，不能過多或過少，在加注硅油之前，還必須完全排空硅油中的氣體，盡量確保內外壓力平衡。必須提前將膜盒抽至絕對真空，不留殘余壓力，膜盒的焊接必須絕對牢固。這些都增加了變送器的加工工作量和成本，因此高溫高真空法蘭變送器的價格也相較一般同類產品更加昂貴。
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