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校準氣體質量流量計時，標準氣體的選擇主要取決于儀表的實際使用氣體以及校準方式。

通常情況下，許多制造商的出廠校準使用空氣或氮氣作為標準氣體，因為其性質穩定、成本低廉。然而，如果實際工藝氣體是氬氣、二氧化碳、氫氣或其他特殊氣體，直接使用空氣校準數據可能會引入較大誤差。這是因為熱式質量流量計的原理依賴于氣體的比熱容（Cp值），不同氣體的比熱容差異顯著。

為了提高精度，對于關鍵應用，應使用與實際工藝氣體成分一致的標準氣體進行校準。如果無法獲取純氣，也可以使用高純度的混合氣。布瑯軻軻鍶特（Bronkhorst）等廠商通常在其設備中內置了多種氣體的轉換系數，允許用戶通過修正系數將空氣校準的數據換算為其他氣體。但必須注意，當實際氣體的熱物性與校準氣體差異過大，或壓力溫度超出特定范圍時，這種換算會帶來額外的誤差。為了達到最高精度，強烈建議在實際工藝氣體上進行校準，特別是對于小流量或高精度要求的場合。https://www.bronkhorst-china.com/