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概述
無(wú)塵室是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)施。不對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費(fèi)寶貴的資源。對(duì)無(wú)塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過(guò)濾系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)測(cè)室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導(dǎo)體制造商工作的現(xiàn)場(chǎng)工程師希望能夠連續(xù)簡(jiǎn)單地使用無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應(yīng)該能夠收集數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，確保制造過(guò)程在可接受的參數(shù)下進(jìn)行，從而防止問(wèn)題的發(fā)生。系統(tǒng)應(yīng)該確保加工過(guò)程符合半導(dǎo)體工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) - 一個(gè)非常重要的因素。用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構(gòu)成一個(gè)全面的無(wú)塵室監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的核心。它們提供了一個(gè)經(jīng)濟(jì)的、易于實(shí)施的解決方案。
系統(tǒng)要求
半導(dǎo)體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個(gè)工廠的信息，這些信息通過(guò)輪流查詢?cè)儽椴脊S的遠(yuǎn)程傳感器而得到。他們想將一個(gè)新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過(guò)程和設(shè)備中，而不干擾或修改已經(jīng)建設(shè)好的控制系統(tǒng)。自然地，制造商想要一個(gè)低成本的解決方案，并且在理想狀況下應(yīng)該是一個(gè)總監(jiān)管系統(tǒng)。
阿爾泰解決方案
我們開發(fā)了一個(gè)基于 RS-485多點(diǎn)網(wǎng)絡(luò)的解決方案。為保護(hù)無(wú)塵室，系統(tǒng)必須有效可靠地監(jiān)視過(guò)濾器風(fēng)扇。DAM-3027 數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項(xiàng)重要任務(wù)。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。
風(fēng)淋室是為工作人員進(jìn)出潔凈區(qū)所設(shè)置的專用通道，可以有效的降低外部人員進(jìn)入潔凈區(qū)所帶來(lái)的污染問(wèn)題，并同時(shí)起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風(fēng)淋室通用性強(qiáng)，可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3062模塊來(lái)控制風(fēng)淋室和貨料進(jìn)入的門禁系統(tǒng)，防止外來(lái)人員的入內(nèi)，增加無(wú)塵室的塵埃，影響生產(chǎn)。DAM-3018來(lái)控制鼓風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，一般的風(fēng)淋室的風(fēng)速要達(dá)到20m/s左右，普通的風(fēng)扇達(dá)不到這種要求，所以需要風(fēng)機(jī)來(lái)操作。
結(jié)論
集成系統(tǒng)能夠提供連續(xù)不斷的監(jiān)視。能夠?qū)?shù)據(jù)進(jìn)行獨(dú)立的監(jiān)控。還可以大大減少設(shè)備管理人員，降低運(yùn)作成本，方便客戶的使用，減少不必要的損失。
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