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隨著全球顯示面板市場持續(xù)擴張，產(chǎn)業(yè)升級對核心制造設(shè)備提出了更高要求。根據(jù)相關(guān)預(yù)測，2025年全球顯示面板市場規(guī)模預(yù)計將達1.4萬億元人民幣，同比增長約7%，其中中國大陸市場份額首次突破半數(shù)，占據(jù)全球52.1%的產(chǎn)能。在這一背景下，高世代線（如G8.6 OLED）設(shè)備需求顯著提升，推動傳輸技術(shù)向更高精度、更高效率方向演進。

FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)

PVD鍍膜設(shè)備作為顯示面板制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，其傳輸系統(tǒng)是確保基材（如玻璃、硅片等）在真空環(huán)境下精準、高效移動的關(guān)鍵模塊，直接影響鍍膜均勻性和良率。博世力士樂FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)，憑借其在真空環(huán)境下的卓越表現(xiàn)，成為顯示面板行業(yè)極具競爭力的解決方案。

FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)在顯示面板中的應(yīng)用

自2004年首次將磁懸浮技術(shù)成功應(yīng)用于光伏行業(yè)PVD設(shè)備以來，博世力士樂FTS系統(tǒng)持續(xù)升級，展現(xiàn)出在高真空、高溫等嚴苛工況下的卓越適應(yīng)能力。從顯示玻璃基板到晶圓處理，F(xiàn)TS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)展示了其特殊的處理特性，可以輕松應(yīng)對從每個載體幾克到 5,000 公斤的各種移動負載。結(jié)合FTS高重復定位精度和高達 5 m/s 的速度以及 20 mm/s 時最大 2% 的速度波動，是面板制造行業(yè)的不二之選。

▶廣泛負載能力：單載體負載范圍從幾克至5000公斤，滿足多樣化工藝需求

▶高速高效傳輸：最高速度達5m/s，兼顧涂層工藝所需的低速精密控制

▶卓越的環(huán)境適應(yīng)性：可在10⁻⁸ mBar高真空及150ºC高溫環(huán)境下穩(wěn)定運行

▶高精度的運動控制：重復定位精度達±0.02mm，速度波動小于±2%（20mm/s時）

▶無接觸式設(shè)計：所有驅(qū)動元件均置于真空腔體外，傳輸過程中無粉塵產(chǎn)生

▶模塊化結(jié)構(gòu)：系統(tǒng)易于維護，顯著降低設(shè)備全生命周期成本

FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)的另一個獨特之處是其運動控制功能和適用于低速使用，例如涂層工藝。無論是在潔凈室、真空、惰性氣體、高溫還是化學領(lǐng)域使用，博世力士樂 FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)都能滿足各種運輸和搬運任務(wù)的需求。

博世力士樂FTS磁懸浮柔性輸送系統(tǒng)在面板行業(yè)的發(fā)展