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SMI（Silicon Microstructures, Inc.），elmos的子公司，近日宣布推出SM923X系列超低壓力傳感器。SM923X系列壓力范圍最低可至250Pa（1 inH2O）。這款具有完全溫度補償和壓力校準的傳感器使其在工業(yè)、HVAC和醫(yī)療應用中實現(xiàn)精確的壓力測量。SMI專有的MEMS壓力傳感器技術與最先進的信號調(diào)理IC集成在一個封裝中，實現(xiàn)了業(yè)界領先的輸出精度（1％FS）和長期穩(wěn)定性。

SM923X系列的開發(fā)滿足了工業(yè)、HVAC和醫(yī)療應用等領域的對可靠性的苛刻要求。SMI的緊湊型解決方案替代了傳統(tǒng)笨重、昂貴的設備，SM923X系列產(chǎn)品方案大大提升了系統(tǒng)的效率，檢測精度以及可靠性。該方案的產(chǎn)品在電路板安裝和系統(tǒng)級自動調(diào)零后，可以實現(xiàn)在整個補償溫度范圍內(nèi)的測量精度小于1％滿量程。 其16位分辨率能夠解析低至0.0038Pa的壓力信號。此外，其卓越的預熱性能和長期穩(wěn)定性，進一步確保了器件在使用壽命周期內(nèi)實現(xiàn)預期性能。

易于系統(tǒng)集成

SM923X傳感器經(jīng)過完全校準，用戶使用方法非常簡單。數(shù)字I2C接口可輕松實現(xiàn)系統(tǒng)集成。深度睡眠模式可實現(xiàn)如HVAC無線傳感器技術等的新的應用領域。SMI的這個解決方案集成了高階噪聲濾波，提供了低噪聲和極低的EMI敏感度。該芯片采用具有雙垂直端口的小型SO16封裝，易于實現(xiàn)系統(tǒng)集成和檢測壓力，該MEMS傳感器在極高壓力情況下仍能保持穩(wěn)定性。該系列傳感器安裝方向靈活，并且可抵抗各個方向的震動，因此進一步降低了產(chǎn)品的安裝和布局。

該系列傳感器的分為三個型號，應用于壓力開關、VAV和呼吸設備。壓力傳感器提供三種配置：SM9233（0至+250 Pa/0至1 inH2O），SM9235（0至+300 Pa/0至1.2 inH2O）和SM9236（0至+600 Pa/0至2.4 inH2O）。這些器件可申請樣品并批量供貨。

SM923X系列芯片可在壓力開關和氣動閥等工業(yè)控制系統(tǒng)中實現(xiàn)精確的壓力檢測，比如泄漏檢測。 另一個應用是測量真空泵中的氣體壓力。在HVAC設備中的壓力傳感器用于過監(jiān)控濾波以及VAV控制。借助于SMI的解決方案，可以更智能地分配空氣，從而實現(xiàn)節(jié)能。

在醫(yī)療應用中，超低壓力傳感器用于諸如呼吸裝置中通風壓力和吸氣壓力的檢測。得益于傳感器靈活的安裝方向的，高分辨率和低噪音性能，因此降低了呼吸設備的集成和使用要求。

SM923X系列補充了SMI超低壓力傳感器系列解決方案。有關SM923X和SM9000系列其他產(chǎn)品的更多信息，請訪問產(chǎn)品頁面，包括差分超低壓傳感器SM933X。

“數(shù)十年低壓傳感器方面的經(jīng)驗都體現(xiàn)在SM9000系列中。SM923X系列完善了SMI在低壓方面的解決方案，使我們處于市場的最前沿，提供最低的壓力測量范圍，并具有最高的精度”，SMI的研發(fā)和業(yè)務開發(fā)副總裁Mike Klitzke說。“我們很高興看到客戶是如何通過使用我們的傳感器來提升系統(tǒng)級效率。”