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這款 Ascent® SMS AP 電源配備性能更高的電弧管理功能，另外還內(nèi)置制程工藝特性分析功能，因此可以通過配置優(yōu)化產(chǎn)量和生產(chǎn)良率

Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進(jìn)的高精度電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司宣布推出等離子電源系列的另一款新產(chǎn)品，這款全新的10kW脈沖直流電源不但配備領(lǐng)先業(yè)界的電源和控制功能，而且還預(yù)裝了 PowerInsight by Advanced Energy™ 這套嵌入式制程工藝優(yōu)化程序。這款 Ascent® SMS AP (先進(jìn)脈沖) 電源配備已注冊(cè)專利的脈沖技術(shù)，成功將優(yōu)化的電弧管理和精確的等離子電源控制功能引進(jìn)到技術(shù)要求極為嚴(yán)格的薄膜沉積應(yīng)用之中，其中包括半導(dǎo)體以至太陽能光伏電池生產(chǎn)等方面的應(yīng)用。

這款10kW Ascent SMS AP 電源的外型小巧，但其安全工作區(qū)(SOA)范圍極為寬廣，例如峰值電壓高達(dá)1200V，而頻率則介于0.5至150kHz之間。這款電源的漸進(jìn)式電弧管理系統(tǒng)共有4個(gè)不同的單元，而且可支持全范圍反向電壓操作，是目前業(yè)界極為先進(jìn)的電源解決方案，所存儲(chǔ)的電弧能量最少，而且所提供的電弧參數(shù)均可自我調(diào)節(jié)，讓有關(guān)參數(shù)可以按照制程工藝步伐靈活調(diào)節(jié)。其中輸出的先進(jìn)脈沖(AP)波形可以支持升壓、反向電壓控制以及先進(jìn)脈沖整形等功能，以便因應(yīng)薄膜型態(tài)和要求的薄膜特性實(shí)現(xiàn)波形的微調(diào)。

Advanced Energy 等離子電源產(chǎn)品高級(jí)市場(chǎng)營銷總監(jiān) Dhaval Dhayatkar 表示：「Advanced Energy 將會(huì)繼續(xù)致力于提升脈沖直流電源的性能，確保這系列產(chǎn)品適用于單靶磁控濺射方面的應(yīng)用，而且還有舊式產(chǎn)品所無的適應(yīng)能力。這款全新的10kW Ascent SMS AP 電源充分利用 Advanced Energy 的許多尖端技術(shù)，其中包括可高度配置的波形、漸進(jìn)式電弧管理、優(yōu)于同級(jí)產(chǎn)品的安全工作區(qū)(SOA)范圍、寬廣的頻率范圍、以及我們公司的 PowerInsight 制程工藝優(yōu)化軟件，讓我們的客戶可將先進(jìn)半導(dǎo)體制程工藝技術(shù)的精準(zhǔn)度、可重復(fù)性和生產(chǎn)良率提升至最高的水平。」

這款全新的電源產(chǎn)品是 Advanced Energy 首款預(yù)裝了 PowerInsight 制程工藝特性分析應(yīng)用程序和相關(guān)優(yōu)化軟件的電源。這套PowerInsight軟件可搜集、分析和轉(zhuǎn)譯來自關(guān)鍵饋電系統(tǒng)的資料，讓用戶可利用這些極為實(shí)用的資料優(yōu)化制程工藝，以提升產(chǎn)量和生產(chǎn)良率，以及減少無法預(yù)測(cè)的制程工藝設(shè)備故障停機(jī)時(shí)間。由于 Advanced Energy 這系列脈沖直流電源內(nèi)置 PowerInsight 軟件，因此可減少出現(xiàn)電弧的次數(shù)，并可提高沉積率，改善薄膜層的形態(tài)和特性。