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X-Y-θ高精度工作臺

日機電裝（nikki dense）XYθ組合平臺表現出色，在低速穩定（速度變化：10mm/sec時為0.2％）這是超薄平面型直線伺服電機無鐵心NVA- AM型和大推力無鐵心直線電機NVA-BM型組合成XY軸，三軸平臺使用DD馬達作為θ-axis使結構更為緊湊

測量高精度X-Y-θ平臺

垂直度為5μm

分辨率0.1μm

 

 

X-Y-θ平臺幾款典型產品（實際可根據客戶需求組合）

1、超薄XYθ平臺400mmx460mmxH144.5mm

*總高度140mm 

超薄NVA-AM平板式直線電機被用于X軸和Y軸，X-Y平臺總高度95.5mm。高度為44.5毫米DD馬達作為θ軸，X-Y-θ總高度只有140毫米。 薄和低結構的機械結構可以提供低速運行的穩定性極好，而且還在高速運動時良好的重復定位。

 

2、X-Y-θ平臺 600mm X 800mm X H 194.5mm

*高精度型 

高推力型NVA-BM直線電機被用于X軸。 超薄型NVA-AM直線電機被用于Y軸，編碼器分辨率高達0.02μm，但它仍然可以運行在1500mm/sec速度。 可實現1μm的定位精度和速度變化為0.03％。 高精度DD馬達用于θ軸，其徑向和軸向的跳動小于10微米。

 

3、Ｘ-θ 平臺 (雙邊驅動) 605mm X 1000mm X 143.5mm

*雙邊驅動系統

兩支NVA-BM高推力型直線電機被用于X軸。通過使用“雙邊驅動”生成的最大推力1800N。絕對定位精度在1微米。通過使用并行驅動系統，它可以降低成本和設備的大小。