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日本HEPHAIST精工株式會(huì)社生產(chǎn)UVW,XYZ,XYR,XYRZ,等工作臺(tái)，同時(shí)兼容超薄型簡單構(gòu)造和高剛性在同一平面上配置三個(gè)執(zhí)行器，實(shí)現(xiàn)了超薄型簡單構(gòu)造。此外，“預(yù)壓式雙滑動(dòng)構(gòu)造(已取得專利) ”對(duì)推力(垂直方向負(fù)荷)剛性、力矩負(fù)荷很強(qiáng)，防止由于偏負(fù)荷造成的臺(tái)面變形和隆起。 高精度的定位 “預(yù)壓式雙滑動(dòng)”承載負(fù)荷，執(zhí)行器不直接承載負(fù)荷。因此可以得到不受負(fù)荷變化影響的穩(wěn)定的精度。 自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心，可以以任意坐標(biāo)點(diǎn)為中心使工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)。

適用場合：半導(dǎo)體制造設(shè)備、檢測設(shè)備、LCD、PDP、絲網(wǎng)印刷機(jī)、PCB印刷，液晶顯示器設(shè)備，激光設(shè)備等

NAF3工作臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品）

超薄結(jié)構(gòu)

結(jié)構(gòu)圖

同時(shí)兼容超薄型簡單構(gòu)造和高剛性在同一平面上配置三個(gè)執(zhí)行器，實(shí)現(xiàn)了超薄型簡單構(gòu)造。此外，“預(yù)壓式雙滑動(dòng)構(gòu)造(已取得專利) ”對(duì)推力(垂直方向負(fù)荷)剛性、力矩負(fù)荷很強(qiáng)，防止由于偏負(fù)荷造成的臺(tái)面變形和隆起。 高精度的定位 “預(yù)壓式雙滑動(dòng)”承載負(fù)荷，執(zhí)行器不直接承載負(fù)荷。因此可以得到不受負(fù)荷變化影響的穩(wěn)定的精度。 自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心臺(tái)面，可以以任意坐標(biāo)點(diǎn)為中心使臺(tái)面旋轉(zhuǎn)。

 動(dòng)作原理

同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動(dòng)作させることにより、様々なテーブル動(dòng)作が可能になります。

U軸を動(dòng)作させると、テーブルはX方向へ移動(dòng)します。		V、W軸を同一方向に同じ量を動(dòng)作させると、テーブルはY方向へ移動(dòng)します。		V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時(shí)にU軸を動(dòng)作させると、テーブルは斜め方向へ移動(dòng)します。
テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。		任意の點(diǎn)を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。

製品仕様